1.準備蘇州特色?向靶成本大最大馬力的電量的使用，以此得到速度的濺鍍音樂節拍（10nm/sec上文），間歇辰內完整鍍晶。?悅納自己小型的蒸空槽，排氣閥耗資短。?可能在低真空氣中鍍一層薄薄的膜，立體圖型的基鋼板也要夠更好的四平八穩的鍍一層薄薄的膜。?尊重一些正面溶膠凝膠法，才能預防離子哪掉在的基板上。（模具的確定可巧用器機臂來完工活躍化）?2室組成、可篩選濺鍍室2室或濺鍍室+聚合反應室。?可與機頭機的隱性聯機，到位自主化。※ 可以依照基材的原料，外表，傳奇裝備的補辦問題會產生反差。
2.技能根據激活能?較大的基板規格尺寸：W180×L340×D150㎜?柔性板的材質：PC、PET、PP、PE等?Sputter rate：10nm/sec及以上?匯聚rate：1nm/sec?排氣閥門帶寬：送達0.1Pa需30sec?l進氣系：RP+MBP+TMP ?盛產周期性：投資基材起頭表層的鍍膜、重疊到取出即可約80sec以內?特殊黑色金屬濺鍍、和運用HMDSO混合氣體聚合物體例鍍制無球層SiOx
3.根據品種?泵組建SP室：RP+MBP+TMP、匯聚室：RP+MBP?SP室+整合室 2室構成的?濺鍍室：高運用効率型負極(靶尺存440×240mm)、30KW DC主機電源?縮聚室：冷金屬電極片充放電式縮聚電極片×１ 750W RF主機電源?濺鍍數據：Al等?配位聚合甲烷氣體：HMDSO（SiOx用）等?工件的逆轉裝配工可制造在選購
應用領域
